芯片的剖面结构

由于PLANAR结构的晶圆表面安装有栅极，因此加工之后可以在表面安装电极，但是其通道为横向，所以一个单元的面积变得很大。TRENCH结构的晶圆从表面挖槽嵌入栅极电极。

“TRENCH”的意思是“沟道” 。由于可以将通道纵向配置，因此可以减小单元的面积，并且可以大量排列单元，因此相同芯片面积的情况下，可以减小ＯＮ电阻。